-
2023-6-25真空炉的优点
-
2023-6-25真空热处理炉的操作流程
-
2023-6-25真空热处理炉进行安装和调试，具体要怎么做呢？
CVD设备
产品用途：
采用开启式管式炉、多路质量流量计及低真空系统组成，设备可以抽真空通气体保护，也可洗高真空系统。此款系统广泛应用在半导体纳米材料、石墨烯、碳纤维领域。
技术指标
限高温度：1200℃
炉管：石英管径Φ25\30\50\60\80\100 (管径可选)
控温方式：智能化50段可编程模糊PID控制，具有超温和断偶报警功能
质量流量计量程（N2)：100sccm、200sccm、500sccm （量程可选）
工作压力范围：0～0.15MPa
系统整体极限真空度：5X10-1Pa
支持工艺定制：工作区域及个数
- 上一个：滑轨式CVD设备
